无尘车间是指在一定空间范围内将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物减少到规定指标下，将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温温度及压力等性能。洁静度一级表示每立方英尺室内的空气所含有大或等于0.5微米的灰尘粒子不超过1颗；无尘车间10级则为不超过10颗；无尘车间100级、1000级...依次类推。
在过去很多厂家安装的是百级无尘车间，然而随着科技日新月异的发展，尤其是集成电路生产技术的发展，集成电路芯片生产的线宽由0.45微米发展到0.11微米，甚至由微米级向纳米级发展，温度的变化可能影响生产工艺，导致成品率下降；同时，由于其生产工艺对洁净度的要求很高，使得其无尘车间内排风量比较大。因此，这种无尘车间需要通过高精度的温度控制，未消除温度变化对生产的影响。如果用传统的组合式空调器调温的方式，要达到无尘车间内高精度的温度及洁净度的控制是很困难的。
那么到底该怎么办呢？下面就来为大家介绍一种高精度、高密封无尘车间的做法。
一种无尘车间，其特征在于：包括密封车间、空气循环机组、送风管路和排风管路，所述密封车间的两侧墙体的内侧设有排风通道，所述排风通道上设有与所述密封车间内部连通的排风口，所述排风通道与所述排风管路连通，所述排风管路与所述空气循环机组连通；所述送风管路一端与设置在车间吊顶上的送风口连通，另一端与所述空气循环机组连通；所述密封车间内设有二次无尘车间，所述二次无尘车间的顶部及四周由钢化玻璃围城，二次无尘车间由支撑柱支撑距离地面20cm-30cm，二次无尘车间的顶部设有送风口，所述送风口与所述送风管路连通。
所述四面墙体采用两层夹板中间内衬阻燃芯材。
所述密封车间的地面采用防静电PVC地板或环氧树脂涂层地板。
所述排风口上设有排风百叶。
这种高精度、高密封无尘车间结构简单，通过空气循环机组对车间内进行气体的交换，大大保证了室内空气的洁净度，由于在无尘车间内部再设置一个二级无尘车间，二级无尘车间采用钢化玻璃制造，底部通过支撑柱支撑距离地面一定高度，保证了二级无尘车间中空气有效的循环，进一步提高了二级无尘车间的洁净等级。
浙公网安备 33030202001777号
